深圳市潔美瑞凈化設備有限公司
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更新時間：2024-11-14 10:52:42瀏覽次數(shù)：88次
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?微電子潔凈室概述
微電子產品生產過程中廣泛應用了高精密制造設備，這使微電子工業(yè)潔凈廠房的形式、構造和整體建造成本都發(fā)生了極大的變化。微電子工業(yè)潔凈廠房采用多功能組合式建筑形式日益增多，微電子產品生產工藝及其制造設備的集成化、過程控制自動化水平日益提高，安全設施日益完善，生產過程所需的作業(yè)人員大大減少，這些都提高了微電子產品生產過程的穩(wěn)定性和安全可靠性，為生產環(huán)境創(chuàng)造了良好的條件。
微電子潔凈室結構：
FFU+BAR結構+高架地板，并設置回風墻，頂部整個做為靜壓箱的設計。
微電子潔凈室潔凈度級別：
空氣潔凈度等級（N） | 大于或等于所標粒徑的粒子濃度限值（個/每立方米空氣粒子） | |||||
0.1 um | 0.2 um | 0.3 um | 0.5um | 1um | ||
ISO Class 1 | 10 | 2 | ||||
ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Class 3 | 1 000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Class 4 | 10 000 | 2 370 | 1 020 | 352 | 83 | |
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