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桌面型/桌子型、主動氣浮隔振光學(xué)平臺（ME40 series）

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產(chǎn)品簡介緊湊的機身集成了6自由度的主動除振機構(gòu)，可提供以往的被動型無法實現(xiàn)的振動環(huán)境

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介

緊湊的機身集成了6 自由度的主動除振機構(gòu)，可提供以往的被動型無法實現(xiàn)的振動環(huán)境。這款機器可以很大限度的發(fā)揮近年來發(fā)展神速的納米技術(shù)領(lǐng)域所要求的高精度及高分解能。

產(chǎn)品特點

6 自由度主動控制
豐富的尺寸變化
只需要接通電源即可使用
自動主動調(diào)整 & 自動水平調(diào)整

應(yīng)用領(lǐng)域

掃描探針顯微鏡（SPM），共聚焦激光顯微鏡，干涉儀系統(tǒng)，三維形狀測量機，激光位移測量系統(tǒng)，其他精密測量和精密加工機。

主要規(guī)格和參數(shù)表

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