具有出色精度和光學(xué)性能的LEXT™OLS5100激光共聚焦顯微鏡配備了讓系統(tǒng)更加易于使用的智能工具。其能夠快速高效完成亞微米級形貌和表面粗糙度的精確測量任務(wù),既簡化了工作流程又能讓您獲得可信賴的高質(zhì)量數(shù)據(jù)。
用于材料分析的激光顯微鏡
更智能的工作流程,更快速的實驗設(shè)計

適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將測量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合,讓顯微鏡更加方便使用。通過快速高效精確測量亞微米級形狀和表面粗糙度的可靠數(shù)據(jù)簡化您的工作流程。
保證測量準(zhǔn)確度
LEXT顯微鏡物鏡可提供高度準(zhǔn)確的測量數(shù)據(jù)。與智能物鏡選擇助手(Smart Lens Advisor)搭配使用,就可獲得可靠的高精度數(shù)據(jù)。

有保證的測量準(zhǔn)確度*
奧林巴斯享譽世界的光學(xué)器件能夠以更低像差在整個視場中捕捉樣品的真實形貌
智能物鏡選擇助手(Smart Lens Advisor)還可幫助您選擇合適的物鏡進行粗糙度測量
*本網(wǎng)頁上包括保證的準(zhǔn)確度在內(nèi)的信息基于奧林巴斯設(shè)定的條件。
簡化材料工程與失效分析實驗管理
測試新材料時的實驗條件管理具有復(fù)雜性,OLS5100激光顯微鏡的智能實驗管理助手(Smart Experiment Manager)可通過關(guān)鍵步驟(如創(chuàng)建實驗計劃)自動化簡化這一過程。

· 提升30%的速度加快完成測量任務(wù) *
· 掃描計劃隨數(shù)據(jù)采集自動生成
· 無需花費時間轉(zhuǎn)錄數(shù)據(jù),軟件為您自動完成
*與OLS5000相比
LEXT™OLS5100激光共聚焦顯微鏡規(guī)格參數(shù)
OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF |
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54x–17,280x |
16 µm–5,120 µm |
光學(xué)系統(tǒng) | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 顏色 彩色DIC |
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| 光接收元件 | 激光:光電倍增管(2通道) 彩色:CMOS彩色相機 |
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顯示分辨率 | 0.5 nm |
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| 動態(tài)范圍 | 16位 |
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| 重復(fù)性σn -1*1 *2 *5 | 5X:0.45 μm, 10X:0.1 μm, 20X:0.03 μm, 50X:0.012 μm, 100X:0.012 μm |
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| 準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 0.15 + L / 100μm(L:測量長度[μm]) |
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| 拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 10X:5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm]) |
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| 測量噪聲(Sq噪聲)*1 *4 *5 | 1 nm(典型值) |
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顯示分辨率 | 1 nm |
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| 重復(fù)性3σn-1 *1 *2 *5 | 5X:0.4 μm, 10X:0.2 μm, 20X:0.05 μm, 50X:0.04 μm, 100X:0.02 μm |
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| 準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 測量值+/- 1.5% |
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| 拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 10X:24+0.5L μm, 20X:15+0.5L μm, 50X:9+0.5L μm, 100X:7+0.5L μm (L:拼接長度[mm]) |
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4096 × 4096像素 |
3600萬像素 |
長度測量模塊 | ? | 不適用 | 不適用 | ? |
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| 工作范圍 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動 | 300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動 |
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100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) | 30 mm (1.2 in.) | 30 mm (1.2 in.) | 210 mm (8.3 in.) |
波長 | 405 nm |
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| 輸出 | 0.95 mW |
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| 激光等級 | 2級(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014) |
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白光LED |
240 W | 240 W | 278 W | 240 W |
顯微鏡主體 | 約 31 kg | 約 32 kg | 約 50 kg | 約 43 kg |
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| 控制箱 | 約 12 kg |
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*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時提供保證(溫度:20?C±1?C,濕度:50%±10%),如ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)所規(guī)定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物鏡測量時倍率20x或更高。
*3 在使用專用LEXT物鏡測量時。
*4使用MPLAPON100XLEXT物鏡測量時的典型值。
*5 基于奧林巴斯認(rèn)證系統(tǒng)下的保證。
** Window 10的OS許可已通過奧林巴斯提供的顯微鏡控制器認(rèn)證。因此接受Microsoft許可條款即表示您同意這些條款。
物鏡
型號 | 數(shù)值孔徑(NA) | 工作距離(WD)(mm) |
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MPLFLN2.5x | 0.08 | 10.7 |
0.15 | 20 |
MPLFLN10xLEXT | 0.3 | 10.4 |
MPLAPON20xLEXT | 0.6 | 1 |
0.95 | 0.35 |
0.95 | 0.35 |
LMPLFLN20xLEXT | 0.45 | 6.5 |
0.6 | 5.2 |
0.8 | 3.4 |
SLMPLN20x | 0.25 | 25 |
0.35 | 18 |
0.6 | 7.6 |
LCPLFLN20xLCD | 0.45 | 8.3-7.4 |
0.7 | 3.0-2.2 |
0.85 | 1.2-0.9 |
應(yīng)用軟件
OLS51-BSW |
| 數(shù)據(jù)采集app | 分析應(yīng)用程序(簡單分析) |
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OLS50-S-MSP |
OLS50-S-AA |
OLS50-S-FT |
OLS50-S-ED |
OLS50-S-PA |
OLS51-S-ETA |
OLS50-S-SA |
*1包括自動拼接數(shù)據(jù)采集和多區(qū)域數(shù)據(jù)采集功能。
*2包括輪廓分析、差值分析、臺階高度分析、表面分析、面積/體積分析、線粗糙度分析、面粗糙度分析和直方圖分析。