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青島浩正科儀智能技術(shù)有限公司
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更新時間：2025-03-03 21:42:45瀏覽次數(shù)：55次
聯(lián)系我時，請告知來自 紡織服裝機械網(wǎng)電鏡主動減振系統(tǒng)1、減振平臺安裝尺寸（長×寬×高）：1130×902×200（mm）（可以根據(jù)不同電鏡定制），減振平臺重量：190kg
電鏡主動減振系統(tǒng)
1、 減振平臺安裝尺寸（長×寬×高）：1130×902×200（mm）（可以根據(jù)不同電鏡定制），減振平臺重量：190kg；
2、 主動減振帶寬：：0.5Hz至100Hz；
3、 產(chǎn)生磁場強度：≤0.3mGpkpk；
4、靜息時間：300ms；
5、平臺負(fù)載重量：300kg至1500kg；
6、 減振效果：從0.5Hz開始有減振效果；到2Hz，水平和垂直兩個方向均達(dá)到-20dB的衰減（90%衰減）；
7、控制自由度：6；
8、控制方式：含前饋的雙重主動控制；
9、執(zhí)行單元：直線電機；
10、推力常數(shù)：80N/Amp；
11、壓縮空氣：不需要；
12、 安裝/調(diào)試：由專業(yè)研發(fā)工程師現(xiàn)場針對性安裝、調(diào)試；
13、適用機型：用于SEM、FIB、Dual Beam機臺等。
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