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行業(yè)產(chǎn)品

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低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

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更新時間：2024-09-05 10:05:38瀏覽次數(shù)：226次

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商鋪產(chǎn)品：54條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：瞿經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

低壓化學(xué)氣相沉積(LowPressureChemicalVaporDeposition,LPVD)是指在較低氣壓下環(huán)境進(jìn)行薄膜沉積，可進(jìn)行大面積小批量樣品沉積

詳細(xì)介紹


低壓化學(xué)氣相沉積(Low Pressure Chemical Vapor Deposition, LPVD)是指在較低氣壓下環(huán)境進(jìn)行薄膜沉積，可進(jìn)行大面積小批量樣品沉積。


技術(shù)參數(shù)：

1 基片尺寸可定制，可達(dá)10 英寸；

2 加熱溫度 1700 ℃，單溫區(qū)或者多溫區(qū)可選；

3 最多可配置6路工藝氣體；

4 配備油泵或者干泵，可選配分子泵；

5 樣品水平，垂直兩種配置模式；

6 可小批量量產(chǎn)；


應(yīng)用領(lǐng)域：

LPCVD

退火

擴(kuò)散

氧化

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