廣州標旗光電科技發(fā)展股份有限公司
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PlasCalc等離子體監(jiān)測控制儀，實現200nm-1100nm波段內的等離子體測量，通過高級過程控制系統及精密數據存取算法，只需3m就可以獲得測量結果
PlasCalc等離子體監(jiān)測控制儀，實現200nm-1100nm波段內的等離子體測量，通過高級過程控制系統及精密數據存取算法，只需
特點
Recipe編輯器
Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置、構建及存儲實驗方法。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量、等離子體蝕刻監(jiān)測、表面潔度監(jiān)測、等離子體室控制及異常污染、排放監(jiān)測等，能夠快速簡單的構建模塊過程控制。
多種工具用于等離子體診斷
隨PlasCalc配置的操作軟件，集成的程式編輯器能夠容易實現多種數學算法功能?？蛇x的波長發(fā)生器（可以單獨購買）用于類型確認，而波長編輯器可以用于優(yōu)化信噪比。雙窗口界面用于顯示實際光譜及所有過程控制信息。
PlasCalc 配置說明
| 光譜范圍: | 200-1100 nm |
| 光學分辨率: | 1.0 nm (FWHM) |
| D/A 轉換: | 14 bit |
| 數字I/O: | 8 x TTL |
| 模擬輸出: | 4 x [0-10V] |
| 接口: | USB 1.1 |
| 功耗: | 12 VDC @ |
| 電源: | 90-240 VAC 50/60 Hz |
| 尺寸: | |
| 重量: | |
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